Vakuuminė danga prailgina puslaidininkių pramonėje naudojamų medžiagų tarnavimo laiką ir sumažina kameros prastovos laiką.Dangos medžiagos yra nuo lydyto silicio dioksido iki itriu stabilizuoto cirkonio oksido, o dangos yra optiškai skaidrios ir chemiškai inertiškos.Visa tai reiškia mažesnes nuosavybės išlaidas sinchronizuojant priežiūros ciklus.
Paskelbimo laikas: 2022-06-16